AOI für Reinraumfertigungen

Die modulare Inspektionsplattform 850G bietet ein breites Spektrum von Optik- und Handlingslösungen inklusive 3D, High-Resolution-Imaging und Quad-Color Lighting. Die Bildauflösung ist skalierbar für Bereich bis unterhalb 1 Micron. Die Möglichkeiten des Materialhandlings umfassen Magazin-Handling, Strip-Handling, Tray- und Wafer-Handling. Der interne Transport kann Inline mit einer oder zwei Transportstrecken ausgestattet werden. Durch diese Vielzahl von Optionen kann die Anlage optimal an unterschiedliche Anforderungsprofile angepasst werden.